Das Prinzip und die Methode der Laserreinigung, Laser zeichnet sich durch hohe Richtwirkung, Monochromatizität, hohe Kohärenz und hohe Helligkeit aus. Durch das Fokussieren und Güteschalten der Linse kann die Energie in einem kleinen räumlichen und zeitlichen Bereich konzentriert werden. Bei der Laserreinigung werden hauptsächlich die folgenden Eigenschaften des Lasers genutzt:
1. Der Laser kann eine hohe zeitliche und räumliche Energiekonzentration erreichen. Der fokussierte Laserstrahl kann in der Nähe des Fokus mehrere tausend Grad oder sogar zehntausend Grad hohe Temperatur erzeugen, so dass der Schmutz sofort verdampft, verdampft oder sich zersetzt.
2. Der Divergenzwinkel des Laserstrahls ist klein und die Richtwirkung ist gut. Der Laserstrahl kann durch das Konzentrationssystem in Spots mit unterschiedlichen Durchmessern fokussiert werden. Unter den gleichen Bedingungen der Laserenergie kann durch Steuern des Laserstrahlflecks mit verschiedenen Durchmessern die Energiedichte des Lasers angepasst werden, um zu bewirken, dass sich der Schmutz ausdehnt. Wenn die Expansionskraft des Schmutzes größer ist als die Adsorptionskraft des Schmutzes auf dem Substrat, verlässt der Schmutz die Oberfläche des Objekts.
3. Der Laserstrahl kann mechanische Resonanz erzeugen, indem Ultraschallwellen auf der festen Oberfläche erzeugt werden, die den Schmutz brechen und abfallen. Die Laserreinigungstechnologie nutzt die Eigenschaften des obigen Lasers, um den Zweck der Reinigung zu erreichen. Entsprechend den optischen Eigenschaften des zu reinigenden Substrats und des zu entfernenden Schmutzes kann der Laser-Reinigungsmechanismus in zwei Kategorien unterteilt werden: Eine besteht darin, ein Reinigungssubstrat (auch Mutter genannt) und eine Oberflächenbefestigung (Schmutz) zu verwenden eine bestimmte Wellenlänge des Lasers. Der Absorptionskoeffizient der Energie hat einen großen Unterschied. Der größte Teil der auf die Oberfläche abgestrahlten Laserenergie wird von den Oberflächenablagerungen absorbiert, die durch Wärme oder Verdampfung verdampft oder sich augenblicklich ausdehnen, und wird von dem gebildeten Luftstrom angetrieben, um sich zu Reinigungszwecken von der Oberfläche des Objekts zu trennen. Das Substrat wird durch die minimale Energieabsorption des Laserlichts bei dieser Wellenlänge nicht beschädigt. Für eine solche Laserreinigung ist die Auswahl der richtigen Wellenlänge und die Steuerung der Laserenergie der Schlüssel zu einer sicheren und effizienten Reinigung. Eine andere Art von Reinigungsverfahren besteht darin, dass der Laserenergieabsorptionskoeffizient des Reinigungssubstrats und der Oberflächenbefestigung sich nicht wesentlich unterscheiden oder das Substrat gegenüber dem durch die Hitze der Beschichtung gebildeten sauren Dampf empfindlich ist oder die toxische Substanz nach dem erzeugt wird Beschichtung wird erwärmt. Diese Art von Verfahren verwendet normalerweise einen gepulsten Hochleistungslaser mit hoher Wiederholungsrate, um auf die zu reinigende Oberfläche aufzutreffen und einen Teil des Strahls in Schallwellen umzuwandeln. Nachdem die Schallwelle auf die untere harte Oberfläche auftrifft, stört der zurückgeführte Teil die vom Laser erzeugte Schallwelle und erzeugt eine energiereiche Welle, die eine Explosion der Beschichtung im kleinen Maßstab verursacht. Die Beschichtung wird zu einem Pulver gepresst dann von der Vakuumpumpe entfernt, und das darunter liegende Substrat wird nicht beschädigt.
